無需點、直線、圓等要素即可進行自動判定。 尺寸顯示功能 可在測量圖上顯示參數、幾何偏差等實測量值。 形狀合成功能 合成功能解消了因測針角度而使分析范圍受限的問題 峰值谷值搜尋功能 可由測針軌跡檢測出工件的Z大點，容易進行對準。 計算點的重復功能 具有重復形狀的工件只需分析1個圖案便可以對整個工件進行分析。 工件軌跡功能

通過演示·回放功能可以自動進行從測量到采用數據粘貼制作檢查成績書等一系列操作。 Z高測量速度達20mm/s，Z大移動速度達60mm/s，速度如此之快大大提高了測量效率。

高精度的輪廓測量，Z方向1µm以下的測量。（變位5mm時） 自動要素判定功能（AI功能） 無需點、直線、圓等要素即可進行自動判定。 尺寸顯示功能 可在測量圖上顯示參數、幾何偏差等實測值。 形狀合成功能 合成功能解消了因測針角度而使分析范圍受限的問題。